Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS

Superkapasitor MEMS khususnya dengan reka bentuk elektrod antara digit (IDE), telah menarik minat pada masa kini dalam bidang seperti bioMEMS, bioperubatan implan, peranti kuasa elektronik dan aplikasi berkuasa tinggi disebabkan kapasiti pengecasannya yang tinggi. Kajian ini membentangkan superkapas...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors:	Hafzaliza Erny Zainal Abidin, Azrul Azlan Hamzah, Burhanuddin Yeop Majlis
Format:	Article
Language:	English
Published:	Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2017
Online Access:	http://journalarticle.ukm.my/11122/ http://journalarticle.ukm.my/11122/ http://journalarticle.ukm.my/11122/1/07%20Hafzalia.pdf

id	ukm-11122
recordtype	eprints
spelling	ukm-111222017-12-21T04:14:25Z http://journalarticle.ukm.my/11122/ Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS Hafzaliza Erny Zainal Abidin, Azrul Azlan Hamzah, Burhanuddin Yeop Majlis, Superkapasitor MEMS khususnya dengan reka bentuk elektrod antara digit (IDE), telah menarik minat pada masa kini dalam bidang seperti bioMEMS, bioperubatan implan, peranti kuasa elektronik dan aplikasi berkuasa tinggi disebabkan kapasiti pengecasannya yang tinggi. Kajian ini membentangkan superkapasitor MEMS dengan lapisan nano grafin tumbuh di atas elektrod. Superkapasitor MEMS terdiri daripada silikon dioksida (SiO2), nikel, grafin, polipirol (Ppy) dan lapisan alkohol polivinil (PVA). Tumpuan diberikan kepada fabrikasi struktur lapisan nano grafin atas elektrod superkapasitor MEMS melalui beberapa proses seperti pemendapan wap kimia secara peningkatan plasma (PECVD), penyejatan alur e dan salutan pusing. Grafin tumbuh melalui proses PECVD selama 10 minit pada kuasa 40 Watt dan pada suhu antara 400°C dan 1000°C. Spektrum Raman menunjukkan puncak pada 1340 dan 1580 cm-1 mewakili jalur D dan G . Puncak 2D wujud dalam julat 2600 - 3000 cm-1. Nisbah bagi keamatan puncak 2D terhadap puncak G pada 1000°C adalah 0.43 menunjukkan kualiti yang baik bagi banyak lapisan grafin. Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2017-07 Article PeerReviewed application/pdf en http://journalarticle.ukm.my/11122/1/07%20Hafzalia.pdf Hafzaliza Erny Zainal Abidin, and Azrul Azlan Hamzah, and Burhanuddin Yeop Majlis, (2017) Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS. Sains Malaysiana, 46 (7). pp. 1061-1067. ISSN 0126-6039 http://www.ukm.my/jsm/malay_journals/jilid46bil7_2017/KandunganJilid46Bil7_2017.html
repository_type	Digital Repository
institution_category	Local University
institution	Universiti Kebangasaan Malaysia
building	UKM Institutional Repository
collection	Online Access
language	English
description	Superkapasitor MEMS khususnya dengan reka bentuk elektrod antara digit (IDE), telah menarik minat pada masa kini dalam bidang seperti bioMEMS, bioperubatan implan, peranti kuasa elektronik dan aplikasi berkuasa tinggi disebabkan kapasiti pengecasannya yang tinggi. Kajian ini membentangkan superkapasitor MEMS dengan lapisan nano grafin tumbuh di atas elektrod. Superkapasitor MEMS terdiri daripada silikon dioksida (SiO2), nikel, grafin, polipirol (Ppy) dan lapisan alkohol polivinil (PVA). Tumpuan diberikan kepada fabrikasi struktur lapisan nano grafin atas elektrod superkapasitor MEMS melalui beberapa proses seperti pemendapan wap kimia secara peningkatan plasma (PECVD), penyejatan alur e dan salutan pusing. Grafin tumbuh melalui proses PECVD selama 10 minit pada kuasa 40 Watt dan pada suhu antara 400°C dan 1000°C. Spektrum Raman menunjukkan puncak pada 1340 dan 1580 cm-1 mewakili jalur D dan G . Puncak 2D wujud dalam julat 2600 - 3000 cm-1. Nisbah bagi keamatan puncak 2D terhadap puncak G pada 1000°C adalah 0.43 menunjukkan kualiti yang baik bagi banyak lapisan grafin.
format	Article
author	Hafzaliza Erny Zainal Abidin, Azrul Azlan Hamzah, Burhanuddin Yeop Majlis,
spellingShingle	Hafzaliza Erny Zainal Abidin, Azrul Azlan Hamzah, Burhanuddin Yeop Majlis, Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
author_facet	Hafzaliza Erny Zainal Abidin, Azrul Azlan Hamzah, Burhanuddin Yeop Majlis,
author_sort	Hafzaliza Erny Zainal Abidin,
title	Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
title_short	Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
title_full	Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
title_fullStr	Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
title_full_unstemmed	Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
title_sort	pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor mems
publisher	Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia
publishDate	2017
url	http://journalarticle.ukm.my/11122/ http://journalarticle.ukm.my/11122/ http://journalarticle.ukm.my/11122/1/07%20Hafzalia.pdf
first_indexed	2023-09-18T19:59:26Z
last_indexed	2023-09-18T19:59:26Z
_version_	1777406749404299264

Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS

Similar Items